中国光刻机技术是“偷”来的！ASML彻底傻眼，外媒：恐有灭顶之灾

中光刻机技术一直以来都是高科技领域中备受瞩目的关键技术之一。然而，最近有关荷兰ASML可能“偷”取中光刻机技术的报道引起了广泛关注。外媒纷纷揣测，如果这一指控属实，ASML可能面临着灭顶之灾。那么，中光刻机技术到底是不是“偷”来的呢？下面将从技术背景、ASML的发展历程以及专利保护等方面进行分析。


中光刻机（英文名称DeepUltravioletLithography）是一种集光学、机械、电子等多学科技术于一体的高精密加工工艺。它利用紫外线辐射对硅片上的光刻胶进行曝光，从而在硅片上形成微细的图案。这种技术广泛应用于集成电路制造、液晶显示屏制造等领域，是半导体工业不可或缺的关键环节。


随着时代的变迁，全球科技都在飞速发展，如今国家与国家的竞争也逐渐演变成科技与技术的较量，谁掌握了核心技术，谁就有绝对的话语权！特别是半导体芯片领域，小到手机、电脑、汽车、智能家电大到军事装备都离不开芯片的支持。

因此，能够自主研发并量产的芯片，便成了各个国家科技发展的“命脉”。而美国为了遏制中国科技的发展，便联合日本、荷兰组成“芯片联盟”对华封锁，企图将中国高端芯片扼杀在摇篮中。

荷兰光刻机巨头 ASML拥有世界上最顶尖的 EUV光刻工艺，按理说在整个半导体行业有着绝对的话语权，然而近些年， ASML对待中国的态度却是大起大落，十分耐人寻味。

2020年中国技术人员前往荷兰 ASML公司学习考察时，对方工程师十分不屑地表示：“就是把完整图纸给中国，你们也造不出光刻机”

然而，到了2022年ASML又突然改口：荷兰的物理学原理，同样适用于中国，而且中国的综合实力是荷兰的十七倍，如果中国举全国之力研制光刻机，或许能够成功。

到了今年2月份， ASML公布了2022年年度报告，报告中称，一位前中国员工窃取了ASML的重要机密，触犯了美国禁令， ASML正在着手调查，很明显， ASML已经被中国的光刻机发展速度给逼急眼了！

2023年3月， ASML公司 CEO温宁克访问中国时，气急败坏地表示：中国自主研发光刻机，是在破坏全球产业链！到了2023年4月下旬温宁克又表示：ASML不能失去中国市场，即使有美国禁令，荷兰也要不顾一切将光刻机卖给中国！

曾经的我你爱搭不理，如今你却高攀不起！ASML态度之所以会改变如此之快，主要的原因是中国自研光刻机技术进步一日千里，已经超出了所有人的预料，所以ASML才急了！

EUV光刻机有三大关键技术，一是顶级光源系统，二是高精度的物镜系统，三是工作台。在加工平台领域，我国华卓精科自主研发的双工作台突破了 ASML的技术封锁，一举跃居世界第二，跻身为世界上最顶尖的双工作台核心技术企业！

而国防七子之一的哈尔滨工业大学，在光刻机领域的进步更是突飞猛进！今年初哈工大公布了自主研发的超高精度激光干涉仪，并一举摘得国际光子大会“金燧奖”。四月份哈尔滨工业大学又发布重磅消息，已经实现“电能转化等离子体线路，这也就意味着DPP-EUV光源研制成功了。也就是说哈工大彻底突破光刻机核心技术之一的光源系统，这是非西方国家首次攻破这一核心工艺，哈工大学连续取得重大进展，让中国自研光刻机工艺直指7 nm制程！

日本和荷兰都拥有最重要的光刻技术，而美日荷三国达成的“三方协议”，就是为了将中国芯片牢牢卡在14纳米制程以上。只要中国无法实现高端芯片的自给自足，就等于卡住了华为脖子，中国在人工智能、大数据、云计算等前沿技术上的优势也会被彻底扼杀，这样美国的科技霸权才会更加固若金汤！

然而，拜登做梦都没料到，中国早已今非昔比，再也不是一百年前那个任人欺凌的国家，如今的中国实力超乎美西方想象！哈工大在光刻技术上取得的巨大突破，狠狠打了拜登一记响亮的耳光，正如 ASML总裁温宁克所言：“对中国进行封锁，反而会加快中国自主研发技术的快速突破，对西方来说没有任何好处！”

我们有强大的国力和举国体制，有哈工大这样的顶尖学府，具备广阔的市场和数不尽的人才，突破美方的技术垄断只是时间问题，我们的国产光刻机一旦问世，美国和 ASML的辉煌时代将会一去不复返。